Pompi tal-vakwu żgħar huma pompi li jużaw il-gass bħala l-mezz primarju tax-xogħol. Adattati għal tħaddim fit-tul ta' idling u niexef, joħolqu vakwu (pressjoni negattiva) billi jmexxu dijaframma biex iwettqu ġbid u skariku tal-gass permezz ta' moviment reċiproku mmexxi minn mutur. Dawn l-apparati għandhom kemm żennuni tal-ġbid kif ukoll tal-egżost. Mudelli speċjalizzati jinkludu mudelli ta' ġbid/espansjoni u ilma/gass bi skop doppju biex jadattaw għal kundizzjonijiet operattivi differenti.
Il-komponenti ewlenin jinkludu l-pompa tad-dijaframma u l-kontrollur tal-vakwu. Prodott tipiku huwa l-Busch RA0020F (veloċità tal-ippumpjar 20 m³/h, pressjoni aħħarija 0.1 mbar). L-iżvilupp teknoloġiku jiffoka fuq il-minjaturizzazzjoni, l-effiċjenza enerġetika u l-intelliġenza, li jinkorpora teknoloġija ta' levitazzjoni manjetika, teknoloġija ta' lubrikazzjoni mingħajr żejt-, u disinn li ma jagħmilx ħsara lill-ambjent. L-applikazzjonijiet ewlenin jinkludu tagħmir mediku (apparati ta 'ġbid, ventilaturi), monitoraġġ ambjentali, manifattura ta' semikondutturi, u l-industrija tal-enerġija ġdida. Id-daqs tas-suq domestiku kien ipproġettat li jilħaq 5 biljun wan fl-2024.