Pompi tal-vakwu minjatura, spiss imsejħa pompi tal-vakwu żgħar minħabba d-daqs żgħir tagħhom, huma definiti kif ġej: pompa tal-vakwu minjatura għandha daħla waħda u żbokk wieħed, kapaċi kontinwament toħloq vakwu jew pressjoni negattiva fid-daħla u pressjoni pożittiva żgħira fl-iżbokk; il-mezz tax-xogħol huwa primarjament gass, u huwa strument kompatt.
Billi tgħaqqad kontenitur issiġillat (inizjalment fi pressjoni atmosferika ta '100 kPa) ma' pompa tal-vakwu minjatura u kontinwament tevakwaha, il-pressjoni tal-gass ġewwa l-kontenitur issiġillat eventwalment tinżel taħt il-pressjoni atmosferika, u tilħaq pressjoni assoluta ta '60 kPa. Barra minn hekk, permezz ta' titjib teknoloġiku speċjali, minbarra pompi tal-vakwu żgħar li jipppumpjaw b'funzjoni waħda, jistgħu jiġu żviluppati pompi tal-ippumpjar u evakwazzjoni bi skop doppju (jiġifieri, it-tarf tal-egżost jista' jiġġenera pressjoni pożittiva relattivament kbira), użati għall-pressurizzazzjoni, mili, reżistenza tas-sistema li tegħleb, eċċ. f'sitwazzjonijiet li jeħtieġu-idling fit-tul jew tħaddim niexef, b'differenza mill-pompi tal-ilma ordinarji li huma mħassra minn idling jew tħaddim niexef.